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ETD-800 型全自動(dòng)等離子濺射儀外觀亮麗做工精致，

機(jī)箱大小僅有310mm x 260mm x 115mm。

ETD-800小型離子濺射儀是專門(mén)為掃描電子顯微鏡用戶設(shè)計(jì)的全自動(dòng)鍍膜設(shè)備；

操作簡(jiǎn)便，放入樣品后可一鍵搞定；數(shù)字式計(jì)數(shù)器滿足精準(zhǔn)定時(shí)要求。

特別適用對(duì)膜顆粒大小要求高的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。

具有成膜均勻，操作簡(jiǎn)單，所需時(shí)間短，過(guò)程可控等優(yōu)點(diǎn)。

可以使用Au，Pt，Cr、Al、Cu等靶材。

配有高位定性的飛躍真空泵

參數(shù)：

主機(jī)規(guī)格：260mm×307mm×260mm（W×D×H）

電源規(guī)格：220V(可做110V)，50HZ

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標(biāo)配），也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。

真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 115mm×100mm（D×H）

定時(shí)器： *長(zhǎng)時(shí)間：3600S

機(jī)械泵： 1L/S

**電壓： -1200 DCV

特點(diǎn)：

1、同時(shí)可以通過(guò)更換不同的靶材（金、鉑、銀等），以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。

2、一鍵式操作，使用方便。

3、真空保護(hù)可避免真空過(guò)低造成設(shè)備短路。

需要鍍膜的樣品

1、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品，塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過(guò)程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料，那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用，防止此類損傷；

2、非導(dǎo)電的樣品:

由于樣品不導(dǎo)電，其表 面帶有“電子陷阱”， 這種表面上的電子積累 被稱為“充電”。為了 消除荷電效應(yīng)，可在樣 品表面鍍一層金屬導(dǎo)電 層，鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電 通道，將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走，消除荷 電效應(yīng)。在掃描電鏡成 像時(shí)，濺射材料增加信 噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

3、新材料:非導(dǎo)電材料和半導(dǎo)體材料