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ST-500系列探針臺
ST-500系列探針臺為晶片、器件和材料(薄膜、納米線、納米管等)提供便利的真空和低溫測試條件,先進的減振技術保證了樣品位置的穩定性。ST-500制冷機利用液氦/液氮連續流快速制冷。測試樣品安放在一個可以拆卸的卡盤(支架)上,卡盤有接地型、同軸型或雙重屏蔽型。樣品周圍是防輻射罩,**限度地減小熱輻射對樣品溫度的影響,從而使樣品的溫度盡可能低。ST-500型制冷機配有高效液氦/液氮制冷劑傳輸管線,集成流量控制閥,兩個硅二極管溫度計分別用來監測樣品和加熱器溫度。通過調節流量控制閥和樣品加熱器使得樣品的溫度可以精確控制在3K-475K之間,根據客戶實驗需求制冷機底部法蘭可選光學窗口進行光學透射實驗。
標準配置和可選配置
標準配置 | 可選配置 |
低振動ST-500低溫恒溫器、真空腔、樣品架和低溫防輻射屏 | 可水平和垂直調節的下桁架、CCD照相機、LCD彩色監控器,帶光纖光源的單像管,可變焦倍為7:1,12.5:1,16:1. |
帶針孔流量控制閥的高效液氦/液氮傳輸管線 | 國際**的控制器供應商提供制冷機溫度控制器 |
監測樣品和控制熱交換的兩個硅二極管溫度計 | 分子泵組包括一個52L/s的渦輪分子泵,寬量程真空硅和讀出電路,不銹鋼軟管線,機械泵或膜片泵作為前級泵。 |
控溫筒式加熱器 | 防震臺,利用空氣彈簧隔振臺和黑色電鍍支架固定的30″×30″工作面 |
低溫防輻射窗口 | 為防振臺配備的便攜式超靜音空氣壓縮機 |
四個X-Y-Z stage、探針支架臂、低溫探針固定器、低頻探針和微波探針 | 存儲50升液氮杜瓦以及高效傳輸管線 |
四個端接焊波紋管可以使探針轉動 | |
10針電學真空接頭 |
參數規格
溫度范圍 | 3K to 475K(DC探針) 3K to 425K(MW 探針) (可選475K) |
溫度穩定性 | +/- 50 mK |
降溫時間 | ~30 min to 10 K, 60 min to 5 K |
振動范圍 | +/- 25 nm |
位置漂移 | +/- 150 nm in 30 分鐘 |
工作頻率 | DC/LF 探針: DC to 10 MHz 微波探針: 0-40 GHz, 0-50 GHz, 0-67 GHz |
光學窗口 | 2.0" 透明窗口 |
單像管光學分辨率 | 7:1 zoom, 4.2μm /12.5:1 zoom, 3.4μm /16:1 zoom, 2.2μm |
ST-500(-1/-2) | |
**樣品尺寸(直徑) | (-1): 42mm (-2):52mm |
探測范圍 | |
X-axis | (-1): 25mm (-2):50mm |
Y-axis | (-1): 25mm 15mm(使用MW探針) (-2):40mm 35mm(使用MW探針) |
Z-axis | (-1): 10mm (-2):18mm |
探針移動(刻度單位)X,Y,Z-軸 | (-1): 10μm (-2):12.5μm |
探針平動分辨率:X,Y,Z-軸 | (-1): 5μm (-2):6.25μm |
水平磁場的微操作探針臺:基于ST500超低振動顯微鏡低溫恒溫器的設計,液氦消耗率小于0.8L@5K,典型振動大小±25nm,長時間漂移2nm/min,該探針臺與室溫電磁鐵相結合可提供0.6T的水平磁場,在25mm內磁場均勻度約2%,工作溫度范圍從3K至475K,可選擇650K。該系統可提供四個低頻或微波(可達67GHz)探針或光纖探針,適合量子點、自旋電子學和納米電子學等領域的研究。該探針臺可提供高精度旋轉臺(精度達1微度),非常適合與角度有關的磁輸運特性的測量。
其它類型連續流探針臺
ST-100連續流型變溫低溫恒溫器,利用內部分相器和多個螺旋線熱交換來確保傳輸液氦的焓被充分利用。配合高效多層超絕熱的ST-FHT液氦(或液氮)傳輸管線,提供了一個振動極小的高度穩定系統。該線包括位于儲存杜瓦的底部流量控制閥,減小熱荷進入流動制冷劑中。允許儲存杜瓦在1.1bar的低壓下如瞬時無循環泵或其它需要的循環控制時系統的全面正常工作。傳輸線的柔性能夠彎曲成一個半徑是12" (30 cm) 而不影響制冷劑的流動或效率。配備自動溫度控制器(穩定度為0.05 K),帶有IEEE-488界面和LabView驅動,工作溫度范圍在~5 K to 325 K (可選475 K). 標準系統配有一個鍍金OFHC銅樣品支架,可放置一個25 mm x 25 mm樣品。另加防輻射窗口可截斷樣品更大的熱輻射,可測量更大的尺寸樣品(大于 4"). 該低溫恒溫器也可作為室溫真空探針臺使用。
參數規格
工作溫度 | LHe:5K-475K LN2:80K-475K 可選700K |
樣品尺寸 | 25-50mm(可選100mm) |
振動大小 | 優于1µm |
探針覆蓋范圍 | 14-50mm(可選100mm) |
樣品*低溫度 | 小于3K |
*低溫度保持時間 | *小8小時 |
工作溫度范圍 | 3.0K-300K |
He-4-SLP側面裝卸低溫探針臺:該型號低溫探針臺與Janis的12.5CNDT液氦杜瓦結合在一起。
配置和選件
配置 | 選件 |
四個低頻(1GHz)或40GHz的微波探針 | 電學測試線 |
可連續泵抽He-4 Pot,在更低的溫度下保持更長時間 | 同軸電纜 |
側面裝卸樣品,無需將低溫恒溫器升溫 | 自動控溫儀 |
光學窗口可用來做實驗或觀察樣品 | 液氦傳輸管線 |
備用的端口和熱錨可用來增加光纖光纜或電學真空接頭 | 用于工作于1K Pot的泵組 |
可拆卸底部可作為光學顯微鏡觀察樣品的通道 |
技術規格
樣品座*低溫度 | 低于3K |
*低溫度保持時間 | 8小時 |
工作溫度范圍 | 3K-300K |