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陶瓷盤清洗機

陶瓷盤清洗機

直接聯系

蘇州辰軒光電科技有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

蘇州辰軒

型號:

陶瓷盤清洗機

關注度:

433

產品介紹

|  應用領域
       應用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化鎵(GaN)等半導體材料的刷洗,同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶等材料。

 

|  設備特點
陶瓷盤豎直清洗,可減少設備的占地面積。
采用超聲波清洗,可較大限度避免損傷陶瓷盤面。
自動上/下料系統及12片容量的陶瓷盤推車,可提高效率減少人工。
搬移機械手單獨上下移動,可增強陶瓷盤清洗效果。

 

|  設備參數

設備型號

CX-BE05

適應產品

陶瓷盤 Φ360mm

陶瓷盤 Φ485mm

洗槽數量

3槽

超聲波洗槽數量

2槽

藥液洗槽數量

1槽

洗槽循環流量

20L/min

洗槽材質

SUS316

連續作業時間

約3~4分鐘/盤(具體視工藝而定)

設備尺寸

W4965mm * L2100mm * H2605mm

設備重量

約3000kg

瓷盤車容量

12片

自動上下瓷盤

水槍

1個

搬移機械手上下

伺服電機+滾珠絲杠+滾動導軌

搬移機械手左右

伺服電機+齒輪齒條+滾動導軌

進盤翻轉機構

氣缸

出盤翻轉機構

減速電機

設備使用條件

電源

AC380, 50Hz,三相四線制

總容量

70kw

氣源接口

3/4

進水接口

3/4

排水接口

1 +1/2

排氣

正壓排氣5″


產品咨詢

陶瓷盤清洗機

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