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應用領域：

◆Solar

◆LED

◆Thin Film

◆Etching

◆Diffusion

技術參數：

WTC-100: NH3>99% BCL3>99% HCL>99% Cl2>99% (+NaOH) HBr>99%

WTC-200: NH3>99% HCl>99% PH3>99% SiCl2H2>99% SiH4>99% WF6>99% H2>99% ClF3>99%

WTC-300: TEPO>99% B2H6>99% NF3 >95% NH3 >99% PH3 >99% SiH4>99% TEB>99 TEOS>99% WF6>99% MA>99% HCl>99% HF>99% GeH4>99% SiCl2H2>99%

公司介紹:

漢科系統科技創立于公元1990年，經營團隊多年來的努力已成為全方位系統整合的領導廠商之一，漢科團隊的專業技術能力和豐富的工程實務經驗，成立了全方位的系統整合服務平臺。

漢科系統科技獲得的國際質量管理的認證有ISO 9001， SEMI S2， 和OHSAS 1800。公司內部嚴格的控管生產及施工步驟，如工安管制，質量管理，采購控管、項目進度控制、現場協調、預算控制、材料查驗...等。

產品優點：

◆簡單界面，易于操作；

◆粉塵捕捉效率高；

◆節約用水；

◆符合工廠設備安全要求；

◆PM周期長，且PM時間短；

◆運行成本低；

◆可根據客戶需求，提供客制化服務。

◆客服響應時間短，備品備件充足