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Autosamdri-815， Series B 臨界點(diǎn)干燥儀

特點(diǎn)：

1.方晶和1”圓晶MEMS釋放后的超臨界點(diǎn)干燥儀；

2.通過微處理控制器來保證自動(dòng)處理過程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性；

3.電磁閥門以及密封適用于LCO2、乙醇及丙酮；

4.內(nèi)表面適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮；

5.可重復(fù)設(shè)定操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性；

6.每次運(yùn)行可以處理5×10mm的方晶或5×1”的圓晶，（提供可以兼容HF的樣品架，方便處理樣品）；

7.集成自動(dòng)控溫；

8.內(nèi)置圓盤裂片保證安全；

9.每個(gè)操作模式LED顯示，一目了然；

10.潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì)；

11.先進(jìn)的固態(tài)電子系統(tǒng)；

12.高效隔熱冷卻系統(tǒng)：在90秒內(nèi)可以把樣品室從室溫冷卻到操作所需溫度；

13.靜態(tài)壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；

14.0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室；

15.內(nèi)腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài)；

16.微型計(jì)量閥門帶游標(biāo)卡尺，可實(shí)現(xiàn)重復(fù)設(shè)定及控制流速;

17.標(biāo)配SOTER^TM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。

18.所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)；

規(guī)格：

1.外部尺寸：寬14.0” (35.6 cm) × 高10.25” (26.0 cm) × 長21.5” (54.6cm)；

2.占地尺寸：寬36” (92 cm) × 深30” (76 cm)；

3.樣品室尺寸：內(nèi)徑1.25” × 深1.25”; 樣品室容積：25ml

4.溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi；

5.Purge時(shí)間范圍：0-45 min

6.120V/50-60HZ(可選其他電壓)；

標(biāo)準(zhǔn)配件：

1.高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長；

2.外部LCO2過濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm），過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接，安裝方便；

3.SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳，降低排氣噪音；

4.防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣；

5.內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門

6.流量計(jì)，可精確控制BLEED的排氣速率；

7.樣品室O型圈2個(gè)，樣品室照明燈2個(gè)，5A保險(xiǎn)絲2個(gè)；

8.HF兼容的10mm方晶PTFE插片架，每次操作*多能裝載5個(gè)晶片

9.安裝工具一套

10.用戶手冊；

11.所有部件一年質(zhì)保。