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YAMATO光刻膠固化爐

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浚和(上海)儀器有限公司

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535

產品介紹

性 能 (依 JTM 規格 )

使用溫度范圍 : 室溫 +50~50 0℃

溫度調節精度: ±0. 5℃(at 45 0℃ 無負荷狀態下)

溫度分布精度: ±5℃(at 45 0℃ 無負荷狀態下)

JTM 標準規定點 根據有效尺寸 1/6 處,含槽內中心點共測量9點

運行: 程序運行(升溫 ,恒溫,降溫 ,定時 )

定時機能 : 1min~99h59min,100~999h,

升溫速率 : ≤40min , (150~450℃≥7.5℃/min ,全程平均 )

潔凈度 : 溫度恒定時 100 級

氧濃度 : 20 ppm 以下

真空度 : 100Pa 以下

真空到達時間 : 約15min

工作狀態指示:觸摸屏上有工作過程(抽真空中 -N2置換中 -氧濃度檢測中-加熱中、 N2維持中 -恒定中 -冷卻中 -抽真空中 -空氣進入中 -結束)

構 造

外裝材質 : 冷扎彩鋼板 ,表面噴塑

內裝承壓體材質 : SUS 316不銹鋼板 ,

斷熱材 : 硅酸鋁棉板

加熱器 : 鎧裝不銹鋼加熱管 380V 4.0KwX3=12Kw

加熱板220V 300 w X 14 = 4.2Kw

組合式送風機 : 離心風葉 φ230 X 130-1個,風量 L=1800m3/h

變頻調速電機380V (1450/min轉)

N2噴管 : N2噴頭

水冷器 : SUS盤管換熱器

過濾網 : 耐高溫效過濾網HEPA( 過濾率0.3μm粒子99.9995%以上 )

門 : 單門正前面 ,門開口W660×H 660

外形尺寸 : 本體 W1150 ×D1215 ×H1697(設置時、以及突起物除外)

內室尺寸 : W600×D600×H600mm

容積 : 216 L

棚受段數 : 17段/30mm (高度方向均分)

棚板數量 : 2枚

N2外接進氣接頭 : 快換接頭φ10mm 一個 。

冷卻水接頭 : 快換接頭φ10mm和φ16mm各一個 。

測試孔 : 左側 1個 KF16 溫度分布精測試口、2個內螺紋1/4的接頭,用于氧濃度和潔凈度的檢測 。

電磁閥 : 控制真空、 N2 、水的通斷時序。

重量 : 320g

電 源 :AC380V 3φ5W 50Hz 30A以下

計裝

溫度調節器 : 液晶觸摸屏加PLC, PID控制,液晶顯示,觸摸按鍵設置。

溫度傳感器 : K型熱電偶4支

壓力控制儀 : 數字式

壓力變送器 : 相對值壓力變送器

壓差計 : 用于測量內槽與空調間之的壓差以此為依據來判定過濾器是否需清潔。

變頻 器 : 用與調節風機轉速(由觸摸屏設定風機頻率)

玻璃轉子流量計 : a.300L/min用于快速并保證槽內的氧濃度在10ppm以下 。

b.15-25L/min用于維持槽內的氧濃度在10ppm以下,另加預熱器保證進入槽內N2溫度在槽內設定溫度,不 干擾槽內的均勻度。

氧濃度分析儀 : 檢測槽內氧濃度,20ppm以下在加熱,

真空泵 : 愛發科雙級有油旋片式真空泵

溫度過升防制器 : 用于溫度異常過升的防止,

電磁閥 : 用于控制抽真空、 N2和冷卻水的開閉。

強制門鎖緊 : 2處

保護裝置

漏電保護開關 : 本體 380V 漏電保護開關

漏電,短路,過電流保護

額定感度電流 30mA

過熱防止回路 : 溫度異常過升時,加熱器電源斷開、電機風葉動作,并報警

送風機電機: 當電機過負荷時、加熱器電源斷開保護回路,并報警

N2異常 : 氮氣流量不足,加熱停止,并報警

冷卻水異常 : 流量不足,報警

門鎖 : 工作時門自動鎖

門開關 : 門未關閉好,機器不會啟動,按啟動鍵,給出報警。

異常顯示 : 當上述異常發生時、觸摸屏上報警提示框異常顯示故障內容 ,蜂鳴器響。

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YAMATO光刻膠固化爐

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