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高溫純化設(shè)備

直接聯(lián)系

山西中電科新能源技術(shù)有限公司

山西

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

山西中電

型號：

高溫純化設(shè)備

關(guān)注度：

401

產(chǎn)品介紹

該裝備是將石墨制品、碳氈或SiC粉體等通過高溫焙燒和工藝氣體定向流動，經(jīng)過物理擴散、化學(xué)反應(yīng)使雜質(zhì)元素從基體中排出，形成灰分含量低（5ppmw）、金屬含量降到PPB數(shù)量級，從而達到半導(dǎo)體晶體生長對石墨品質(zhì)（或粉體原料）要求的工藝過程。
技術(shù)參數(shù)
**溫度： 2500℃ 常用工作溫度：2200℃
溫度均勻度：≤±5℃ 儀表控溫精度：±1℃
抽真空時間：≤120min

有效工作空間( mm)	**溫度(℃)
840-840-660	2200
Φ1380-900	2500
Φ1300-820	2500
Φ1300-1050	2500
Φ1400mm-1050	2500
Φ1400mm-2000	2500

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高溫純化設(shè)備

山西中電科新能源技術(shù)有限公司

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