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特征概覽:

• 等離子體頻率400M Hz， 光波長范圍：190-890 納米
• 易更換等離子體組件，低的運行維護費
• KF25 標準連接口
• 良好的探測精度至ppm級
• 寬工作壓力范圍：10毫乇至1乇，無需泵組
• 快速采樣頻率24赫茲
• 小巧，易安裝

應用：

• 用于半導體，平板顯示器及太陽能等行業PVD，CVD及刻蝕腔體檢漏，氣體組份比率及等離子體刻蝕終點探測（Endpoint）。