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高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極廣，無論是藥物分析實驗室亦或是硅芯片制造廠，都需要使用高質(zhì)量高純度氣體。如在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮，氫，氬，氦可作為載氣，保護氣和配制混合氣的氣體來源。

Ellutia高純氣/特氣分析儀可提供一整套氣體混合物的分析方法，檢測限可達ppb級（<50ppb），既可用于檢測常見的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量雜質(zhì)，還可分析特種氣體如HCL，SiH4，BCL3，N2O，CF4等。根據(jù)不同應(yīng)用要求，實現(xiàn)客戶化定制。

產(chǎn)品特點

實現(xiàn)多種氣體高靈敏度檢測

氦氣吹掃，避免與空氣接觸所引起的外界污染

精密防泄露裝置，避免潛在污染

配備高純氣吸氣劑，去除微量雜質(zhì)

尺寸規(guī)格小，不占據(jù)實驗室空間