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單向退火爐

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理工宇龍

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單向退火爐

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單向退火爐

退火目的是什么?在高溫(1750)加熱狀態(tài)下,通過(guò)高溫促使晶體晶格打亂后重新排列,同時(shí)清除一些晶格內(nèi)部缺陷,從而釋放內(nèi)部應(yīng)力,為后續(xù)加工奠定良好的基礎(chǔ)。晶體退火恒溫時(shí)間為36小時(shí),每爐次退火時(shí)間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后,晶片翹曲低于1絲,線小于2室米、內(nèi)應(yīng)力、崩邊現(xiàn)象及線痕度得到很大的提升,加工后的晶片成品率也達(dá)到了95%以上。成品率提高了,成本又降低了很多,同時(shí)延長(zhǎng)了晶棒的切割線的使用壽命.


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單向退火爐

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