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PVD載盤
直接聯(lián)系
山東華信工業(yè)科技有限公司
山東
面議
華信工業(yè)
548
碳化硅PVD載盤經(jīng)等靜壓工藝成型、高溫燒結而成。亦可根據(jù)用戶設計圖紙要求進行外徑、厚度尺寸,穴位數(shù)量、尺寸、取片槽位置和形狀進行精加工,以滿足用戶的具體使用要求
特點和優(yōu)勢
高致密性
良好的導熱性、低膨脹系數(shù)和均溫性能
耐電漿沖擊性
耐各種強酸強堿化學試劑腐蝕
經(jīng)過半導體級別清洗
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壓力燒結一體爐
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真空脫脂燒結復合爐
碳陶復合材料熔滲爐
PWS系列真空石墨化爐
RS系列重結晶燒結爐
RBC系列反應燒結爐
管束塊
螺旋噴嘴
光學反射鏡
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氣流粉碎機配件-分級輪
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無
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