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【技術(shù)參數(shù)】

【產(chǎn)品詳情】

Agar 全自動(dòng)噴金儀（離子濺射儀）為英國(guó)進(jìn)口設(shè)備，操作簡(jiǎn)單，適用于掃描電鏡樣品制備，可噴金、鉑、金/鈀、鉑/鈀、銀等。

噴金儀使用小貼士：

1）需要濺射噴金的樣品

a)**類(lèi)樣品是電子束敏感的樣品，主要包括生物樣品，塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過(guò)程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料，那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用，防止此類(lèi)損傷；

b)另一類(lèi)樣品是非導(dǎo)電的樣品，由于樣品不導(dǎo)電，其表面帶有“電子陷阱”，這種表面上的電子積累被稱(chēng)為“充電”。為了消除荷電效應(yīng)，可在樣品表面鍍一層金屬導(dǎo)電層，鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電通道，將充電電子從材料表面轉(zhuǎn)移走，消除荷電效應(yīng)。在掃描電鏡成像時(shí)，濺射材料可以增加信噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

2)濺射材料

常用的濺射材料為金，導(dǎo)電性高。

噴金儀的真空度越高，所濺射的金屬顆粒越小，可以減少樣品表面形貌失真的情況。當(dāng)需要超高分辨率成像時(shí)，**高真空噴金儀，同時(shí)還可以選用其他濺射材料，如：鉻，銥等，濺射的晶粒更細(xì)小。

此外，如果需要做EDS能譜分析的話(huà)，建議選擇噴碳儀，因碳的X射線(xiàn)峰不會(huì)與其他元素的峰值發(fā)生沖突。

金靶材：

膜厚監(jiān)控儀：