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GC-9560-HG高純氣體分析系統(tǒng)適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，儀器配備原裝進(jìn)口高靈敏的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器；采用華愛(ài)色譜擁有技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)，進(jìn)樣閥采用原裝進(jìn)口的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥，連同原裝進(jìn)口的氦氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案。

眾所周知，高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，也是色譜分析的難點(diǎn)之一；不僅需要高靈敏的檢測(cè)器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過(guò)程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)。上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司總結(jié)了高純氣體分析過(guò)程中的技術(shù)難點(diǎn)，并給出了所有難點(diǎn)的解決措施，使GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀成為國(guó)內(nèi)專業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)，很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析。

適用的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：

1、高純氣標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》 GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》

GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和超純氮》 GB/T 4842-2006《氬》

GB/T 4844.3-1995 《高純氦》 GB/T 17873-1999《純氖》

GB/T 5829-2006《氪氣》 GB/T 5828-2006《氙氣》

HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》

2、電子氣標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》

GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》

GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》

GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》 GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》

GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》

GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》 GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》

GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》 GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》

GB/T18867-2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》

系統(tǒng)配置：

（1）GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀

（2）氦離子化檢測(cè)器（PDHID）

（3）中心切割系統(tǒng)

（4）多柱箱系統(tǒng)

（5）氦氣純化器

（6）標(biāo)準(zhǔn)氣體

（7）色譜柱

（8）高純氦（純度>99.999％）

（9）氧吸附與還原系統(tǒng)

（10）載氣專用減壓閥

（11）無(wú)死體積專用取樣閥

（12）GC-9560V4.0版反控色譜工作站

一、中心切割技術(shù)，實(shí)現(xiàn)氣體全分析：

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹技術(shù)，該系統(tǒng)由多個(gè)吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成，通過(guò)工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣、切換、切割與反吹等過(guò)程，一次進(jìn)樣即可完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。

吹掃型十通閥

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀所配備的均為原裝進(jìn)口VICI生產(chǎn)的帶保護(hù)氣路的吹掃型十通閥，閥平面始終處于載氣的氛圍中，避免進(jìn)樣和切換時(shí)空氣滲透到樣品之中，大大提高檢測(cè)靈敏度和性。

VICI AG International是專業(yè)的進(jìn)樣閥供應(yīng)商，其生產(chǎn)的進(jìn)樣閥制作精良，外觀精美，所有材料均進(jìn)行了防吸附處理，且整個(gè)閥體的死體積已減小，再配合吹掃氣路的保護(hù)，從而排除空氣滲透對(duì)樣品中痕量雜質(zhì)檢測(cè)的影響

經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)

（1） 色譜柱管材采用316L不銹鋼材料，且管材內(nèi)壁均經(jīng)過(guò)鈍化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問(wèn)題的產(chǎn)生

（2） 色譜柱擔(dān)體均經(jīng)過(guò)特殊處理，避免氧吸附等問(wèn)題的產(chǎn)生

（3） 預(yù)切柱采用華愛(ài)色譜獲得國(guó)家的微型填充柱技術(shù)，樣品的分離，兼顧分離、穩(wěn)定與快速

二、多柱箱分離系統(tǒng)

氣體樣品的形式多種多樣，同時(shí)雜質(zhì)種類繁多，需要多根不同的色譜柱聯(lián)用來(lái)完成氣體樣品中的所有雜質(zhì)的分離。由于不同色譜柱的工作溫度不盡相同，在同一個(gè)柱箱中很難找到同時(shí)適合不同色譜柱工作的工作溫度。GC-9560-HG采用多柱箱設(shè)計(jì)，有效解決了不同色譜柱需要不同工作溫度的難題。

在儀器的日常維護(hù)中，由于5A分子篩等不同擔(dān)體的色譜柱的活化溫度各不相同，如果在同一柱箱中進(jìn)行老化需要將不耐受高溫的色譜柱拆下來(lái)，然后分別進(jìn)行活化。GC-9560-HG的多柱箱設(shè)計(jì)可以有效解決上述問(wèn)題，不同的色譜柱可以在不同柱箱中分別活化，避免了日常儀器維護(hù)工作中需要拆裝色譜柱的問(wèn)題。

三、HP-2氦氣純化器：

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用高純氦氣為載氣，氦氣的純度直接影響到整個(gè)儀器對(duì)雜質(zhì)的檢測(cè)靈敏度。試驗(yàn)證明，高純氣體分析所用載氣的純度至少比氣體樣品的本底純度高一個(gè)數(shù)量級(jí)。

HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產(chǎn)的一款專載氣純化器，其純化基質(zhì)是一種無(wú)揮發(fā)性的吸附性合金，吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過(guò)加熱活化，活化過(guò)程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散，防止氧氣純化層的形成，又可以進(jìn)行雜質(zhì)氣體的吸附。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性，包括兩個(gè)溫度控制范圍。

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

大操作壓力：1000Psi

去除氣體：H₂、O₂、N₂、CO、CO₂、CH₄、H₂O、NO、NH₃、CF₄等

殘留濃度：≤10ppb

四、進(jìn)樣壓力校正系統(tǒng)

傳統(tǒng)的色譜儀采用在進(jìn)樣閥出口處控制流量的辦法來(lái)控制定量管內(nèi)的進(jìn)樣體積，試驗(yàn)證明這種方法有著大的分析誤差

以分析高純氫氣為例：標(biāo)準(zhǔn)氣是配置在氦氣中的六種雜質(zhì)，而樣品氣是在氫氣中的六種雜質(zhì)；由于氦氣和氫氣的分子量不同，從而造成了在相同流量下的進(jìn)樣量是不一致的情況

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備壓力校正系統(tǒng)，克服因底氣不同造成的進(jìn)樣量不一致的問(wèn)題，確保數(shù)據(jù)的性。

五、無(wú)死體積取樣閥

GC-9560-HG配備了無(wú)死體積的專用取樣閥，采用帶吹掃保護(hù)的取樣方式，有效的避免了空氣殘留的問(wèn)題，將取樣過(guò)程對(duì)分析的影響降至低的水平。

六、載氣專用減壓閥

普通減壓閥由于死體積的存在，直接影響到經(jīng)減壓閥輸出后的載氣純度，造成載氣中的本底雜質(zhì)濃度很高，從而影響到整個(gè)系統(tǒng)的檢測(cè)限。

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備具有兩級(jí)穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥，大大提高了壓力穩(wěn)定性，確保基線的穩(wěn)定，同時(shí)也降低了閥體內(nèi)的死體積，進(jìn)一步提高檢測(cè)靈敏度。

七、電子氣取樣系統(tǒng)

電子氣體的分析有其特殊性，如硅烷遇O₂極易自燃、有些電子氣體為有毒有害氣體，采用傳統(tǒng)的取樣方式無(wú)法完成電子氣的分析

GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀可以選配專業(yè)的電子氣取樣系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用吹掃、真空等方式確保系統(tǒng)中無(wú)O₂存在，管路全部采用316L不銹鋼材料制成的外徑1/8"管道，內(nèi)壁經(jīng)拋光和鈍化處理，防止吸附。接口采用鍍金卡套式接口，嚴(yán)格確保系統(tǒng)氣密性，排除了潛在危險(xiǎn)。電磁閥和微型真空泵的應(yīng)用使整個(gè)系統(tǒng)的操作更加方便，通過(guò)色譜工作站可完成吹掃，取樣，進(jìn)樣等一系列操作。