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儀器簡介：

Pioneer 300圓晶表面分析系統(tǒng)是專為控制 300mm半導(dǎo)體圓晶加工質(zhì)量控制而設(shè)計的；它能夠

快速，準確地測得接觸角和表面能，并評價粘著，潔凈和表面處理。

典型應(yīng)用：

-評價表面清潔處理

-圓晶表面處理

-有機污染檢查

-為附膠和底漆準備

-涂層均一，質(zhì)量保證

技術(shù)參數(shù)：

-電源：220V，50/60Hz

-**樣品尺寸：300mm圓晶(適用4/6/8/12"圓晶）

-**樣品厚度：10mm

-聚焦：6.4fold

-焦距：內(nèi)部，+/-6mm

-resolution:768*576 NTSC，16M color

-moving type: 自動映像（X-，Y-，Z-及旋轉(zhuǎn)）

-dispenser type: 自動注射器系統(tǒng)

-接觸角范圍：5-180度

-光源：后置燈，鹵素?zé)?

-評價方法：接觸角/表面能

-操作系統(tǒng)：Windows XP/2000

主要特點：

-配合300MM(12")圓晶的旋轉(zhuǎn)臺。

-圓晶自動映像顯示系統(tǒng)

-全自動電腦圖像分析及數(shù)據(jù)計算

-簡單，快速操作

-可測試接觸角及表面能

-2維和3維表面分析