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■概括

　　螺桿式無油機(jī)械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺杄與右螺杄作髙速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi)(柱形等螺距)進(jìn)行傳輸運(yùn)動。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿，螺杄與泵體之間都有一定的間隙，泵工作時相互之間無摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低，且工作腔無需潤滑油，因此螺杄真空泵適用于半導(dǎo)體、電子以及要求潔凈真空的場合，完全可以代替油封式機(jī)械泵、水封式機(jī)械泵成為新一代的主要真空獲得設(shè)備。

　　■型號/性能/參數(shù)