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羅茨真空泵
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羅茨真空泵
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羅茨真空泵又稱機械增壓泵,是一種容積式干式真空泵,是目前獲得中、高真空的主要抽氣設備之一,其工作原理與羅茨鼓風機相似,是利用兩個8字形轉子在兩個半圓形的泵腔內作同步反向轉動,從而完成吸氣和排氣的過程。該泵不能單獨使用,必須與前級泵(如螺桿泵、水環泵等)串聯使用。羅茨泵的極限壓力由前級泵決定,表中數據是以螺桿真空泵為前級泵時的*低極限壓力。
羅茨泵特點:
1、高壓縮比:轉子采用寬頭部**型線,密封帶寬,獲得高壓縮比。能在很寬的壓強范圍內(1~1x10^Pa)有較大的抽速。
2、清潔環保:泵腔無油,側蓋采用**密封,避免了油蒸汽污染真空系統。
3、運行高可靠性:**軸封,避免被抽介質進入軸承腔,造成潤滑油乳化失效。
4、低振動:轉子作G1級動平衡,振動小,噪聲小。
5、整體無定位銷組合,O形密封圈密封,易于維護和維修,費用低,壽命高。
6、高標準配置:進口軸承、5級齒輪、德標聯軸器,可抽除可凝性氣體。
7、不可單獨使用,必須配置前級泵。
建議:羅茨真空泵長期工作時,視規格大小,**進出口壓差控制在15~20Torr之間。
ZJ、ZJP型泵性能基本參數表
型 號 | 極限壓力 | 抽氣速率(L/s) | 溢流閥壓差或**允許壓差(HPa) | 進氣口徑(mm) | 排氣口徑(mm) | 配用功率(Kw) | 推薦配用前級泵 | |
Pa | Torr | |||||||
ZJ-200 | 5×10–1 | 4×10–3 | 200 | 80 | 100 | 100 | 3 | LGB80、LG55 |
ZJ-300 | 5×10–1 | 4×10–3 | 300 | 60 | 150 | 100 | 4 | LGB110、LG120 |
ZJ-600 | 5×10–1 | 4×10–3 | 600 | 50 | 200 | 150 | 7.5 | LGB150 |
ZJ-1200 | 5×10–2 | 4×10–4 | 1200 | 50 | 250 | 200 | 11 | ZJ-300/LGB150 |
5×10–1 | 4×10–3 | LGB300 | ||||||
ZJ-5000 | 1×10–2 | 8×10–5 | 5000 | 50 | 400 | 320 | 45 | ZJ-1200/ZJ600/LGB300 |
ZJP-600 | 5×10–1 | 4×10–3 | 600 | 50 | 200 | 200 | 5.5/7.5 | LGB150 |
ZJP-1200 | 5×10–2 | 4×10–4 | 1200 | 50 | 250 | 200 | 11/15 | ZJ-300/LGB150 |
ZJP-2500 | 5×10–2 | 4×10–4 | 2500 | 30 | 320 | 250 | 18.5/22 | ZJ-600/LGB220 |