PS系列干式螺桿真空泵

廣泛應(yīng)用于面板、太陽能、冶金系統(tǒng)、鍍膜、電漿制程、干燥處理、制程氣體抽取、制程氣體抽取、生技/制藥、化工產(chǎn)業(yè)。

排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積

線型密封性佳，泵浦性能優(yōu)

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障率低，維修容易

微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全

500-1500m3/h(50Hz)

600-1800m3/h(60Hz)

1X10-3mbar

產(chǎn)品咨詢

PS系列干式螺桿真空泵

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凱威科真空科技（深圳）有限公司

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