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超納米金剛石自支撐膜(厚膜片)
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超納米金剛石自支撐膜(厚膜片)
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CVD金剛石熱沉片/散熱片:是理想的電子散熱器件材料。
在室溫條件下,CVD金剛石的熱導(dǎo)率是銅的五倍,可滿足多種熱學(xué)應(yīng)用,
廣泛應(yīng)用于制作激光二級管、激光二極管陣列、大功率半導(dǎo)體器件、
微波器件和大規(guī)模集成電路的散熱片,其熱導(dǎo)率可以達到1200-2000W/K.m,
納米及超納米晶薄膜金剛石制備:
**面積尺寸:120mm×150mm
厚度范圍: 0.001mm~0.02mm(硅基底)
晶粒尺寸: 50~100nm(納米級)
10~20nm(超納米級)
表面粗糙度: 20~50nm(納米級)
10~15nm(超納米級,未拋光)
1~5nm(拋光后)