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拉普拉斯低壓水平氧化退火設備 LOX430

拉普拉斯低壓水平氧化退火設備 LOX430

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品牌:

拉普拉斯

型號:

拉普拉斯低壓水平氧化退火設備 LOX430

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715

產品介紹

設備的應用及特點


應用

本設備適合156-210mm硅片生產,能幫助客戶降低固定資產投入和運營成本。


產品特點

1. 水平放片,管內空間利用率高,不僅能耗低,且具有業內**的產能;

2. 硅片方向與氣流方向一致,硅片對氣流阻擋小,片內/片間均勻性更優;

3. 自重擠壓,減少硅片間間隙,繞擴/繞鍍可控;



拉普拉斯低壓水平氧化退火設備  LOX430

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拉普拉斯低壓水平氧化退火設備 LOX430

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