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ATS 500設計用于OLED、有機電子應用、光伏、半導體器件、透鏡和光學濾波器的研發和小批量生產。

系統特色是配有全彩觸摸屏的PLC，集成了工藝菜單控制和數據記錄功能，可以選配全電腦控制。

ATS 500提供廣泛的工藝選項，包括：

• 熱阻蒸發源。

• 溫度控制蒸發源，用于OLED和有機光伏應用。

• 電子束蒸發源，用于高速率蒸發。

• 離子束輔助，用于光學應用或者基板清洗。

• DC、RF和脈沖DC源，用于金屬和電解質向上或者向下的濺射工藝。

• 以上兩個或者多個功能的混合系統