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儀器簡介：

Cascade Microtech 的 EPS系列測量平臺是一款結(jié)構(gòu)簡單、高精確度、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺，解決了一系列的測量難題。該探針臺采用了一種模塊化設(shè)計，提供了眾多的配置可能性，旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。您可以通過確定*適合自己當(dāng)前需要的 EPS模塊來設(shè)計特有的探針臺，或?qū)ψ约含F(xiàn)有的 EPS進行升級以滿足未來的測量需求。

優(yōu)越的應(yīng)用靈活性使得EPS能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試（DWC）、失效分析（FA）、亞微米探測、MEMS和光學(xué)工程測量；EPS也能用作一個靈活的探頭卡，實現(xiàn)wafer級的可靠性應(yīng)用（WLR），能同時配備多達20個探針座。

技術(shù)參數(shù)：

基座 基本尺寸 Z軸可移動范圍

標準平臺 490mm x 490mm×480mm 10mm

X-Y-θ平臺 XY范圍 *小步長 θ范圍 晶圓范圍

EP6標準平臺 155mm x 155mm 5μm 360° 6寸

主要特點：

1. 結(jié)構(gòu)簡單、多功能；

2. 平臺配置可滿足DC、RF測量；

3. 獨特的模塊化設(shè)計可根據(jù)客戶的需要配置和升級；

4. 量程大、可配暗箱、CCD等配件；

擴展功能：

1、射頻頭部；

2、探針卡端口；（出廠前配置）

3、光電屏蔽箱；

4、CCD視頻系統(tǒng)；

5、溫控模塊；（常溫-300℃可選）

6、EPS_FA可配置激光等。