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晶圓鍵合機

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產(chǎn)品介紹

AFIXX 20m手動系統(tǒng)

臺式系統(tǒng)設計用于手動將單個基板臨時粘合到剛性載體或其他載體上。適用于非常薄的易碎基材和柔性塑料材料。專為實驗室開發(fā)的臨時粘合技術。這是一個多功能系統(tǒng),非常適合許多RD應用程序。AFIXX 20m配備有加熱板,可將載體或基材加熱到200℃。

特點:

適用于圓形晶圓或方形基片;

尺寸**到直徑200mm直徑8英寸)或150x150 mm6 x6英寸,圓形晶圓可選:直徑300毫米(直徑12英寸);

帶加熱板,**200

適用于非常薄的易碎晶圓(<40 um)和柔性塑料材料

激光標記可準確對準晶圓和載體;

手動調節(jié)水平

與硅,化合物和玻璃材料兼容;

專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計;

應用:

將基材臨時粘合到不同類型的載體上:

基板上的基板

玻璃載體上的基板

藍寶石載體上的基板

陶瓷載體上的基材

不同的粘合劑,例如:

蠟>通過熱處理激活

粘合劑>溫度和溶劑影響活化

產(chǎn)品參數(shù):

基板尺寸:**直徑200mm直徑8英寸)或150x 150 mm6 x 6英寸

設備外殼:PP材質

工作臺表面:微拋光不銹鋼和陽極氧化鋁材質

電源230110VAC / 1Phase/ N / PE / 5060Hz

真空:-0.8 bar / -600 Torr,管外徑8 mm,內徑6 mm

控制臺:350x 350 x 372毫米(13.8 x 13.8x 14.6英寸)

加熱板模塊:350x 411 x 207毫米(13.8 x 16.2x 8.2英寸)

主營產(chǎn)品:

Laurell勻膠機

Harrick等離子清洗機

Thetametrisis膜厚儀

Microxact探針臺

ALD原子層沉積系統(tǒng)

TRION反應離子刻蝕機

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻機

Novascan紫外臭氧清洗機

Nilt納米壓印機

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板

Annealsys高溫退火爐

Kinematic程序剪切儀

Laurell EDC系統(tǒng),濕站系統(tǒng)

Wabash/Carver自動壓片機

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