粉體行業在線展覽
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DM-8000微波等離子體CVD設備
直接聯系
成都紐曼和瑞微波技術有限公司
四川
面議
和瑞微波
DM-8000微波等離子體CVD設備
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> 超潔凈級的真空系統
> 全進口的集成化供氣系統
> 樣品臺冷卻系統采用Duel-Loop控制
> 自動化的工藝生長控制系統
> 在線視覺檢測功能
| （1） | 型號 | DM-8000 |
| （2） | 電源 | AC380 V 三相五線制 50Hz， |
| （3） | 微波輸出功率 | 8kW ，2450MHz點頻 |
| （4） | 微波泄露 | ≤2mW/cm3@5cm |
| （5） | 功率穩定度 | 1 %（@穩態） |
| （6） | 有效沉積區域 | up to Φ 70 mm |
| （7） | 樣品臺直徑 | Φ120 mm |
| （8） | 極限真空度 | ≤5 ×1 0-1 P a |
| （9） | 真空漏率 | ＜1x10-9Pa.m3/s |
| （10） | 單晶生長 | 生長速度10-15μm/H，單輪生長厚度≥1.6mm |
| （11） | 單晶質量 | 色度H，肉眼無瑕疵 |
| （12） | 氣體種類 | 標配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可擴展為5路 |
| （13） | 壓強控制范圍 | 5-225 torr |
| （14） | 壓強控制精度 | ±0 . 1 T o r r |
| （15） | 冷卻水 | ＞65L/Min |
WSPS-2450-300-CMFA固態微波源
WSPS-915-100W/200W固態微波源
WSPS-2450-100W/200W固態微波源
WSPA-5800-100M固態功放模塊
WSPS-433-200-CMFA固態微波源
WSPS-433-200-CCFA固態微波源
DM-8000微波等離子體CVD設備
HMPS-2120S微波等離子體CVD設備
HMPS-2150S微波等離子體CVD設備
HMPS-9750S微波等離子體CVD設備
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