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HMPS-2120S微波等離子體CVD設(shè)備

HMPS-2120S微波等離子體CVD設(shè)備

直接聯(lián)系

成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

和瑞微波

型號:

HMPS-2120S微波等離子體CVD設(shè)備

關(guān)注度:

384

產(chǎn)品介紹

微波功率容量大、功率密度高;

沉積面積大、速率快、質(zhì)量高;

安全可靠,滿足單晶、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運行;

第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源,新型下饋式大容積碟形放電工作腔;

微波功率0.5~12kW連續(xù)可調(diào),穩(wěn)定度1%;

放電區(qū)Φ≥100mm;均勻沉積區(qū)Φ≥75mm;

工作氣體:H2/CH4/N2/CO2O2Ar;

極限真空度:6×10-4Pa;真空漏率:10-9Pa·m3/s;

工作壓力:0.1~30kPa;自動控制;

紅外測溫:600~1800℃(雙色);

PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動控制。


產(chǎn)品咨詢

HMPS-2120S微波等離子體CVD設(shè)備

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