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快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。

VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合大尺寸樣品的熱處理。

儀器特點：

- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；

- 可在真空、甚至于高真空環境使用；

- 加熱區域尺寸：300毫米 X 300毫米；

- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；

參考用戶：

中科院上海技術物理所，中國電子科技集團41所；