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高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)

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寧波瑞柯偉業(yè)儀器有限公司

浙江

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產(chǎn)品介紹

FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)

一、概述:

采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置專用的高溫測試探針治具,滿足半導體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通過先進的測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗和分析導體材料和半導體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

二、適用行業(yè):

廣泛用于:生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導率數(shù)據(jù).

三、功能介紹:液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。

測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,進行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

四、技術參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍:10-5~2×105Ω/□

2.電阻率范圍:10-6×106cm

3.測試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

4.電流精度:±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度:≤0.3%

6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式: 雙電測量

8.工作電源:輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%(標準樣片結(jié)果)

10. 溫度: 1200℃可調(diào)節(jié);沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C

11、升溫速度:9999分鐘以內(nèi)自由設定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃;功率:3kw.

12、爐膛材料:采用復合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征。

13.專用測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!

14.選購:電腦和打印機

還有如下相關產(chǎn)品:FT-351高溫四探針電阻率測試系統(tǒng);FT-352導體材料高溫電阻率測試系統(tǒng);FT-353絕緣材料高溫表面和體積電阻率測試系統(tǒng)

ROOKO/瑞柯品牌,來自瑞柯儀器公司,一個專注于改變?nèi)藗兩罘绞胶推焚|(zhì)的企業(yè).

專業(yè)與精致并重;智慧之原

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