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邁可諾技術有限公司
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真空快速退火爐AS-One
AS-One是一種通用的RTP系統，可用于開發快速熱退火和快速熱CVD工藝。
可以搭配分子泵實現高真空下熱處理工藝。
**溫度1500 ℃，*快升溫速率200℃/Second。
全程PC軟件控制升溫程序，保證溫度不過沖，控溫精度準確。
應用：
•RTA（快速熱退火）
•RTO（快速熱氧化）
•歐姆接觸退火
•植入退火
•石墨烯和hBN的快速熱化學氣相沉積RTCVD
•硒化，硫化
•結晶和致密化
產品特點：
1、紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷（低噪音水平，無需壓縮空氣）；
2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現性及均溫性，即使在后續使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到*初的熱處理效果；
3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設計，雙層不銹鋼；
冷壁水冷技術優點在于：1、無記憶，2、工藝重復性高，3、冷卻速度快；
4、反應腔室的設計，氣體的進入口設計在wafer的表面，避免在退火過程中冷點的產生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性；
5、快速數字PID控溫；
6、熱電偶配合高溫計控溫，測試樣品的溫度，控溫精準；
7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；
8、*多5路工藝氣體，配數字質量流量控制器；
9、電腦通過以太網連接更快的數據傳輸速度；
10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設計，用于小樣品測試；
11、可選配分子泵，用于高真空測試；
產品標準配置及規格參數：
1、樣品**尺寸：AS-One100：4-inch；AS-One150 ：6-inch；
2、溫度范圍：AS-One100室溫~1250 ℃；（室溫~1500 ℃可選）
AS-One150室溫~1200 ℃；（室溫~1300 ℃可選）
3、升溫速率：AS-One100 ：0.1 ℃~250 ℃/s ；
AS-One150 ：0.1 ℃~200 ℃/s ；
4、溫度控制：快速數字PID控制；
5、熱電偶：2個K型熱電偶；
6、低溫高溫計溫度范圍：150℃~1100 ℃；
7、高溫高溫計溫度范圍：400℃~1500 ℃；
8、工藝氣體氣路配質量流量計；
9、配置真空泵及真空規；
