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加拿大Johnsen Ultravac超高真空系統

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量子科學儀器貿易(北京)有限公司

加拿大

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661

產品介紹

技術參數:

真空腔主要技術參數:

腔體漏率小于2×10-10atm cc/sec

小于0.5%端口對準誤差

玻璃球拋光

7步清洗過程

可選配置

MU金屬內層作為磁屏蔽罩

不銹鋼內層,用于沉積系統

電鍍拋光

水冷

低溫保持器隔熱罩

主要特點:

Johnsen Ultravac公司的超高真空腔有很多種配置,可以提供適合用戶各種特殊要求和性能的腔體。

Johnsen Ultravac公司生產的超高真空腔體性能優異。在腔體的制造過程中,JUV的工程師們特別重視消除任何可能的漏氣現象,腔體的真空度都能好于10-11Torr。每一個端口都經過精心的校準,確保它們能夠準確的裝載各種配件。在進行切削加工時,特別注意避免腔體遭到各種材料的污染;在完成切削后,所有的部分會被仔細清洗,并在超凈間中進行焊接;*后,在完成端口位置的再一次確認后,超高真空腔體才會進行*后的清理與包裝

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加拿大Johnsen Ultravac超高真空系統

量子科學儀器貿易(北京)有限公司

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