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EMS 150R S Plus– 緊湊型機(jī)械泵濺射儀，適合非氧化金屬

EMS 150R E Plus– 緊湊型機(jī)械泵鍍碳儀

EMS 150R ES Plus–集成了離子濺射和碳蒸鍍兩種沉積功能的緊湊型機(jī)械泵鍍膜儀

新款改進(jìn)

● 觸摸屏更換成便于操作的電容觸摸屏

● 固件更新，新版操作界面類似安卓系統(tǒng)，便于客戶上手

● 新的彩色LED可視狀態(tài)指示燈

● USB接口可以用于固件更新，并可將鍍膜方案文件備份/復(fù)制到USB存儲設(shè)備

● 可以通過USB端口以.csv格式導(dǎo)出過程日志文件，以便統(tǒng)計分析

主要特點(diǎn):

●金屬濺射或碳蒸發(fā)一體化設(shè)計，節(jié)省空間

●適合FE-SEM制樣的精細(xì)鍍膜和薄膜應(yīng)用

●渦輪分子泵高真空系統(tǒng)，適合不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材

●全自動觸摸屏控制，快速數(shù)據(jù)輸入，操作簡單

●可儲存多個客戶自定義鍍膜方案：對多用戶實(shí)驗(yàn)室十分理想

●預(yù)編程自動真空控制

●使用膜厚監(jiān)控選件精確控制膜厚

●智能系統(tǒng)識別，自動感知用戶所插入鍍膜頭的類型

●高真空碳蒸鍍，對SEM和TEM鍍碳膜應(yīng)用非常理想

●先進(jìn)的碳棒蒸鍍槍設(shè)計和電流控制技術(shù)，操作簡單，重現(xiàn)性好

● Drop-in式快速換樣品臺（標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺）

●真空閉鎖功能，讓工作腔室在待機(jī)使用時亦處于真空狀態(tài)

●不破壞真空條件下的濺射時間可長達(dá)60分鐘，適合材料科研應(yīng)用

●人體工程學(xué)設(shè)計，整體成型機(jī)殼，維護(hù)、拆裝容易

技術(shù)參數(shù):

●工作腔室：165mm外徑 x 127mm高

●觸摸屏全圖像用戶界面

●靶材：標(biāo)配直徑57mm x 厚0.1mm Au靶

●樣品臺：標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺，直徑60mm，轉(zhuǎn)速8-20 rpm ，可選配旋轉(zhuǎn)傾斜臺。

●真空系統(tǒng)：雙程旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵

●極限真空度：2 x 10^-2mbar

●濺射真空度：3 x 10^-2 mbar與5 x 10^-1mbar之間

●濺射電流：0-80mA

●濺射時間：*長60分鐘

●碳蒸發(fā)：穩(wěn)定的無紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā)，確保碳棒可重復(fù)蒸碳，電流脈沖1~90A。

●尺寸和重量：儀器機(jī)箱585mm寬x 470mm長 x 410mm高 (總高: 650mm)