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108C Auto鍍碳儀是一個緊湊的,易于使用的鍍碳儀,主要用來給不導電的樣品鍍一層碳膜,用于掃描電鏡能譜分析的*成熟的鍍碳儀之一。
主要特性
l獨特的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚大約20nm左右進行多次蒸發,無須切削或調整碳棒形狀。
l108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。該鍍膜系統結構緊湊,容易操作,抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。
l使用新型的蒸發裝置:電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控,蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低,碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。
l可選擇手動或自動方式操作。
l自動模式下,蒸發源按程序設定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下,獨特的設計允許以脈沖或連續的方式操作,并通過旋鈕控制輸出電壓。
l可配備MTM-10高分辨膜厚監控儀(選件)。分辨率優于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范圍內,重現性可優于5%。
技術參數 | |
樣品室大小 | 直徑120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75") |
蒸發源 | Bradley型 (6.15mm rods),高強度不銹鋼結構 |
蒸發控制 | 基于微處理器的反饋回路控制,能夠進行遠程電流/電壓感應,基于真空水平變量的安全互鎖功能,zui大電流180A,提供過流保護 |
樣品臺 | 可裝置12個樣品座,高度在30mm范圍內可調 |
模擬計量 | 真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A |
厚度監控 | MTM-10 高分辨膜厚監控儀(選件) |
控制方法 | 自動蒸發控制,使用程序設定的電壓和時間 以脈沖或連續方式進行完全手動控制 數字定時器(0-10s) 數字電壓設置(0.1 to 6.0V) |
真空系統 | |
真空泵 | 2級直連式高速真空泵 |
抽氣速率 | 3.0 m3/小時,真空度到 0.1mb所需時間30秒. |
極限真空 | 5 x 10-3mba |
桌上系統 | 真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統 |