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日本理學Rigaku nano3DX是一款真正的X射線顯微鏡（XRM），能夠以高分辨率測量相對較大樣品的3D計算機斷層掃描（CT）圖像，這是通過使用高功率旋轉陽極X射線源和高分辨率探測器來實現的。
nano3DX允許通過改變X射線波長來增強對比度或穿透力，拓展了可檢測樣品的類型，包括那些具有低吸收對比度的樣品（例如CFRP）、或更密集的材料（如陶瓷復合材料），因此，nano3DX擴展了無損成像的范圍，使研究中至關重要的靈活性和洞察力有了重大突破。
nano3DX特征
◆ 高功率旋轉陽極X射線源
◆ 多種靶材可供選擇(Cr，Cu和Mo)，可得到不同波長的特征X射線，以優化不同樣品基質的成像
◆ 光學耦合高分辨率探測系統，多種物鏡可供選擇
◆ 快速數據采集，源自于高亮度的X射線源和高分辨率探測系統，速度比同類產品快3倍以上
◆ 低Z材料的高對比度，實現了優于0.13g/cm3的密度分辨率
◆ 支持原位實驗
◆ 高分辨率：空間分辨率優于400nm（特殊定制可達100nm）
◆ 寬視野：采用相同分辨率和掃描時間，FOV比同類系統大5倍以上
nano3DX典型應用
日本理學nano3DX適用于逆向工程、產品研究、失效分析、高可靠篩選、質量評價、改進工藝等無損檢測和評估工作。常用于各類材料(如合成材料、陶瓷復合材料等)、電子半導體元器件、地礦標本、仿生材料、生化物質等的計算機斷層掃描成像，現已廣泛應用于以下領域：
◆ 材料學：結構材料、復合材料的微觀特性分析，探討/解析樣品內部結構
l金屬材料、合金/鑄造：航空航天， 精密制造， 半導體零部件
l復合材料
l高分子材料/聚合物：纖維材料， 發泡材料， 橡膠， 樹脂， 高分子聚合物
◆ 工程材料：建筑材料內部孔隙度、連通度和滲透性分析
◆ 儲能設備：質量控制、新產品開發的結構試驗、失效分析等
◆ 農牧業：動植物組織，木材和農產品（如種子）的質檢和分析
◆ 古生物學和考古學：種系鑒定、化石的結構分析，文物保護和修復
◆ 地質：礦物勘察、地質分布、油氣藏開發等
◆ 半導體：元器件的結構分析
應用案例：
CFRP材料曾被認為很難通過X射線成像分析。由于nano3DX具有0.13g/cm3的密度分辨率，可以清晰的區分CFRP中碳纖維、環氧樹脂和材料孔隙的顯微結構，以三維形式觀察，并可測量空隙數量、體積和方向。
碳纖維增強聚合物(CFRP)。圖像為1.8mm×1.8mm×1.4mm，體積由3300× 3300×2500體素表示。在相同的分辨率、時間范圍內，單次掃描的測量體積比其他系統大25倍。
