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儀器簡介：

NanoMap-D雙模式掃描三維表面輪廓儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備。既可以

用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖， 輪廓線等

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量

6、微電子表面分析和MEMS表征

主要特點：

包含接觸式和非接觸式兩種掃描方式

高精度

· **的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm（光學非接觸式）

· 對周圍環境和光源的強適應性

· 沒有機械過濾

寬闊的垂直測量范圍

· 多種選擇光學頭及接觸式

· 縱向掃描范圍 300 to 3900 µm

· 圖像“縫合”技術使再大的表面也能呈現在一幅圖像內

試用于幾乎所有的表面

· 透明，不透明，反射光強等多種材料

· 垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞

· 脆性的材料，軟材料，柔性材料表面

· 尖銳的，堅硬的，磨損的表面

適應性強

· 白光光源，人體安全設計，長壽命白光LED 免維護。可以用于各種環境的實驗室，甚至工業生產環境。

· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術的**結合

· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到150mm。

· 在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察

· 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態范圍（**至500μm）及亞納米級垂直分辨率　（*小０.１nm ）

· 軟件設置恒定微力接觸(0.1 to 100 [mg])