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布魯克 DektakXT 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創新性的設計，可以提供更高的重復性和分辨率，測量重復性可以達到5。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術創新的頂峰，更加鞏固了其行業地位。不論應用于研發還是產品測量，通過在研究工作中的廣泛使用，DektakXT一定能夠做到功能更強大，操作更簡易，檢測過程和數據采集更完善。第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術突破，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。
利用獨特的直接掃描平臺，DektakXT通過減少從得到原始數據到扣除背底噪音所需要的時間，來提高掃描效率。這一改進，大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對于表面應力長程掃描的掃描速度。在保證質量和重復性的前提下，可以將數據采集處理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit數據采集分析同步操作系統Vision64，它可以提高大范圍3D形貌圖的高數據量處理速度，并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時的數據分析處理效率。Vision64還具有有效直觀的用戶界面，簡化了實驗操作設置，可以自動完成多掃描模式，使很多枯燥繁復的實驗操作變得更快速簡潔。
與DektakXT的創新性設計相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上實用簡潔的用戶界面，具備智能結構，可視化的使用流程，以及各種參數的自助設定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡便的實現各種類型數據的采集和分析。
DektakXT 技術參數
—單傳感器設計提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍
應用領域：MEMS、太陽能、芯片、光刻、刻蝕、鍍膜、LED、微電子、觸摸屏等領域。
我們的部分客戶名單：清華大學微電子系、清華大學微電子所、清華大學電子系等121家高校及研究所，上海神舟新能源有限公司、上海交大泰陽綠色能源有限公司、福建鈞石能源有限公司等幾百家工業公司。
