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l可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)

l使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150倍) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測量>: 72° vs 44°)

l具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動分辨率的CCD相機，空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的理想配置

l在測量表面粗糙度/表面反射率上沒有限制

l應(yīng)用于透明層/薄膜

l兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC

l長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選

l高穩(wěn)定性

lZ向高分辨率

l兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式

lZ向分辨率可獨立放大

l四色CCD 相機，用戶可自選的LED光源 (白光、綠光、藍光和紅光)

l高達五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機

l快速處理器

l自動對焦

l探針掃描可用于大型模板

lX、Y、Z三向可達原子級分辨率

l大壓電探針掃描XY: 達到 110x110um

l粗糙表面分析

l快速分析

l特點：一臺設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀 高精度原子力顯微鏡