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工作原理

離子減薄制樣技術屬于離子束加工范疇。其方法是用高能離子束轟擊樣品表面、高能離子與樣品表面原子發生彈性碰撞、樣品表面原子能量增大至高于該原子逸出功時，便飛離樣品，從而使樣品逐漸減薄。離子減薄儀通常用雙槍從樣品兩側轟擊。樣品隨著支架旋轉，使得離子束轟擊均勻。

產品描述

GL2011型離子減薄儀由國內頂尖專家精心設計制作，性能穩定，應用廣泛，可對金屬、非 金屬、陶瓷、礦物、半導體、骨骼、牙齒等幾乎所有固體材料進行精密減薄處理。

產品特點

• 多功能樣品臺，兼具離子減薄和離子拋光功能

• 離子束流自動控制

• 監視系統采用聚光光源

• 減薄過程無離子束遮擋

• 精心設計防污染觀察系統

• 結構緊湊，體積小，精密

  設計，防誤操作系統

• 樣品潔凈，樣品信息更為

  真實可靠

產品名稱

離子減薄儀

離子束加速電壓

0-10KV 連續可調

**束流密度

大于 200μA/cm

減薄速度 ( 銅)

30μ/h（**）

樣品對離子束的傾角

5-90°（普通臺） 0-90°（精細拋光臺）

真空度

5×10-3Pa（不送氣）

離子束對樣品的*小傾角

7°（普通試樣臺） 2°（拋光試樣臺）

減薄20微米

減薄25微米

案例說明：

樣品為約100u的鋁箔，表面為鋁的氧化物。用化學方法或者物理摩擦的方法減薄，都會非常明顯的破壞樣品表面形貌，甚至改變樣品化學成分。

使用GL-2011型離子減薄儀減薄后，在電子顯微鏡下可以觀察到，樣品沒有任何變形，而且獲得**清晰的樣品圖像。