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【SuPro】離子濺射儀/噴金儀ISC150

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深圳市速普儀器有限公司

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進口品牌高性能旋片泵產生一個潔凈的<1 pa的真空壓強，通常抽真空時間小于3-5分鐘。采用高品質恒功率磁控濺射電源，確保恒定沉積速率。磁控陰極的使用也有效減少等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷。特別適用于追求更高分辨率sem 掃描電鏡樣品的噴金用途。觸摸屏控制，即插即用。

選配原位離子清洗模塊，實現SEM樣品碳氫污染（有機物積碳污染）清洗，樣品表面活化和親水化。

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