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SIC切割后清洗機

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南軒（天津）科技有限公司

天津

產(chǎn)品規(guī)格型號

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天津南軒

型號：

SIC切割后清洗機

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產(chǎn)品介紹

SIC切割后清洗機

1）：擁有多種規(guī)格型號，適用于不同尺寸SIC晶圓的清洗；

2）：適用于4寸丶、6寸、8寸等多規(guī)格SIC襯底片的刻蝕清洗

3）：全自動控制，機械手傳遞片籃，采用工控機+觸摸屏控制方式，電器件均采用進口品牌

4）：自動供/補液，配超聲波、溢流循環(huán)。在線加熱等功能

5）：濕法上料，干法下料，配熱N2烘干槽

6）：配酸堿隔斷門、FFU保證設(shè)備運行環(huán)境

產(chǎn)品咨詢

SIC切割后清洗機

南軒（天津）科技有限公司

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