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SIC全自動預清洗機

1）： 適用SIC襯底片的預清洗，可兼容4寸、6寸、8寸規格 

2）： 全自動控制，高速機械手，保證設備運行平穩，定位可靠 

3）： 設備外觀大氣、結構緊湊 

4）： 外形采用特殊設計，提高設備防腐性能，延長設備使用壽命； 

5）： 人性化的操作界面，配合PLC控制操作，使用起來更為簡便。 

6）： 采用10.4′觸摸屏操作界面，PLC控制。自動配補液，保證了操作的安全穩定性； 

7）： 可滿足客戶多種工藝及產能的定制化需求。