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半自動晶圓刷洗機 TSC-100

半自動晶圓刷洗機 TSC-100

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北京特思迪半導體設備有限公司

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北京特思迪

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半自動晶圓刷洗機 TSC-100

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半自動晶圓刷洗機

TSC-100/300S

該系列設備是晶圓CMP后的專用清洗設備，單工位單腔設計。該系列設備可集成PVA刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干等功能，集成度高，適用于各類半導體晶圓的CMP后清洗。



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半自動晶圓刷洗機 TSC-100

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