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氣體注入設備
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江蘇卓遠半導體有限公司
江蘇
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江蘇卓遠
245
卓遠半導體運用先進工藝,以氣體注入工藝技術為核心,研發出氣休注入設備,需搭配我司 Intelligent MPCVD Diamond Growth System (IMD)系列金剛石晶體生長系統使用。
Intelligent Gas Injection System (IGI)系列氣體注入系統,采用微波電漿化學氣相沉積法(MPCVD)制備,主要用于金剛石長晶過程中的氣體注入。
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