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晶圓兆聲單面刷洗甩干機(jī)

晶圓兆聲單面刷洗甩干機(jī)

直接聯(lián)系

聲達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備（江蘇）有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

江蘇聲達(dá)

型號(hào)：

晶圓兆聲單面刷洗甩干機(jī)

關(guān)注度：

119

產(chǎn)品介紹

適用工件：

(Applicable parts)

6寸/8寸藍(lán)寶石或碳化硅

6"/8“Sapphire or SiC Wafer

批量產(chǎn)能：
(Capacity)

60s/pcs

工藝流程：

(Procedure Flow)

上料→ 晶圓定位→旋轉(zhuǎn)刷洗及二流體噴洗(硅面)→翻轉(zhuǎn)180度→旋轉(zhuǎn)刷洗、兆聲波噴洗(碳面)→旋轉(zhuǎn)甩干→下料
Load→Location→Rotation,brushing,cleaning,two-fluid spraying(Si side)→Turn over 180 degree→Rotation,
brushing,cleaning,megasonic spraying(C side)→Rotation,
Spin-Drying→Unload
主要材料：
(Major Material)		金屬骨架+PP瓷白殼板
Metal Frame+PP white board
運(yùn)送方式：
(Transportation)		通過(guò)潔凈機(jī)械手進(jìn)行晶圓傳輸
Wafer transported by clean robotic hand

工藝效果：

(Process effect)

a.particle size0.3~0.5um,remove %>90%or <200e.a;

b.particle size0.5~1um,remove%>95%or <10e.a。

PS:inspection machine is for Candela or SICA


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晶圓兆聲單面刷洗甩干機(jī)

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晶圓兆聲單面刷洗甩干機(jī) - 119
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