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超純氫氣純化ZQH-M系列是蕪湖中氫新能源科技有限公司自主研發(fā)的設(shè)備，可針對(duì)電解水制氫和瓶裝粗氫等多種來源的含氫原料氣，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化超純氫制備，能夠充分發(fā)揮膜提純方式的經(jīng)濟(jì)、高效和穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì)，性能達(dá)到國(guó)際**水平。設(shè)備主要用于第三代半導(dǎo)體、光伏等領(lǐng)域。

功能特點(diǎn):

1. 采用膜分離技術(shù)，氫氣純度可達(dá)>99.9999999%，露點(diǎn)<-100℃C2.安全可靠，具有多種報(bào)警功能(超壓報(bào)警、超溫報(bào)警、氫氣泄露報(bào)警、純度低報(bào)警等);3.操作簡(jiǎn)單、一鍵啟停、無人值守:4.氫氣輸出流量、壓力可調(diào)。