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 產(chǎn)品介紹

曦合超導(dǎo)提供的探針平臺在半導(dǎo)體-MEMS-超導(dǎo)材料探測等領(lǐng)域是重要的高科技科研設(shè)備，有著不可替代的重要作用。

通過微米級別的探針頭和光學(xué)顯微鏡，可實現(xiàn)在材料介觀水平提供低溫物理電學(xué)測試、微波探測及可視化成像等功能。

在整個溫度范圍內(nèi)的IV和CV曲線測試、微波測試、光電測試、表征變磁環(huán)境下的磁輸運特性、理解載流子濃度的霍爾效應(yīng)測試，和其他材料的研究。

該設(shè)備提供了一個可以引入電學(xué)、光學(xué)及微波信號的低溫、真空、帶磁場的環(huán)境，由探針臂引入信號、由閉循環(huán)制冷機實現(xiàn)低溫制冷、由真空杜瓦提供真空環(huán)境、由超導(dǎo)磁體提供高強度磁場。

 關(guān)鍵核心技術(shù)

• 超導(dǎo)磁體技術(shù)：閉循環(huán)垂直磁場超導(dǎo)磁體探針臺實現(xiàn)達到6T的磁場，通過自主搭建的電磁-機械-傳熱多物理場耦合下的優(yōu)化設(shè)計算法，實現(xiàn)了低損耗-高穩(wěn)定性的緊湊結(jié)構(gòu)超導(dǎo)磁體系統(tǒng)設(shè)計與制備。

• 快降溫高傳導(dǎo)的制冷技術(shù)：采用雙級G-M制冷機冷卻的低溫系統(tǒng)，對結(jié)構(gòu)材料進行熱物性測試，并應(yīng)用于系統(tǒng)中的熱傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)和熱沉結(jié)構(gòu)；使用熱開關(guān)技術(shù)實現(xiàn)4 K溫區(qū)的快速降溫。

• 熱開關(guān)技術(shù)：采用低溫?zé)衢_關(guān)技術(shù)實現(xiàn)了樣品臺溫度的快速調(diào)控 技術(shù)參數(shù)

 產(chǎn)品詳情

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  圖 低溫探針平臺產(chǎn)品效果圖

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 應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體晶圓、凝聚態(tài)物理、光電測試、超導(dǎo)材料、納米電子學(xué)、磁性&自旋電子學(xué)、有機&分子電子學(xué)、量子器件、微波電子學(xué)、低噪音射頻、鐵電體薄膜、低溫電子學(xué)。