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成都真空設備 surpass大口徑干法刻蝕機裝備

CM-015

直接聯系

成都漢普升科技有限公司

四川成都

產品規格型號
參考報價:

100-150萬元

品牌:

超邁光電

型號:

CM-015

關注度:

257

產品介紹

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●Surpass系列 干法刻蝕機,特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結構的基片刻蝕,刻蝕尺寸可達φ2500mm,通過高密度等離子體及離子濃度修正系統,可達到基片有效刻蝕區域內均勻性較高的技術指標,滿足大口徑基片刻蝕的需求。


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