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主動隔振臺+HERZ

主動隔振臺，主動減振臺，主動防震臺，主動式振系統。為各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機，微納米結構和加工儀器！超低頻隔震臺、防震臺、減震臺、除震臺！

產品特點

主動隔振頻率 ：1Hz - 200Hz

• 被動隔振頻率>200Hz

• 5-20ms的響應時間

• 安裝簡單，容易使用

• 穩定性高，能無故障連續使用多年

• 緊湊、模塊化的多功能設計

• 多種規格尺寸的面板支持各種研究及應用

產品應用

• SEM TEM

• UHV-SPM 光刻

• 光譜測量 高精度測量

• 其他高精密儀器

性能優勢

• 系統主動檢測輸入振動并動態消除

• 六個空間方向的自由隔振

• 系統內部反饋回路抑制所有機械共振

• 低頻隔振性能優秀

• 無低頻共振、無空氣要求

技術參數