粉體行業(yè)在線展覽
面議
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EM12是采用先進的測量技術,針對中端精度需求的研發(fā)和質(zhì)量控制領域推出的精致型多入射角激光橢偏儀。EM12可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k;亦可用于實時測量納米薄膜動態(tài)生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。多入射角度設計實現(xiàn)了納米薄膜的**厚度測量。
項目 | 技術指標 |
儀器型號 | EM12 |
激光波長 | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚測量重復性(1) | 0.2nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率測量重復性(1) | 2x10-3 (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
單次測量時間 | 與測量設置相關,典型1.6s |
**的膜層范圍 | 透明薄膜可達4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關 |
光學結構 | PSCA(Δ在0°或180°附近時也具有極高的準確度) |
激光光束直徑 | 1-2mm |
入射角度 | 40°-90°可手動調(diào)節(jié),步進5° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm 二維俯仰調(diào)節(jié):±4° 樣品對準:光學自準直和顯微對準系統(tǒng) |
樣品臺尺寸 | 平面樣品直徑可達Φ170mm |
**外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時) |
儀器重量(凈重) | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺 真空吸附泵 |
軟件 | ETEM軟件:
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TH-F120
在線折光儀PRB21
ParticleX TC
觀世
在線濁度計
CELL PAT
FS500全譜直讀光譜儀
OES1000
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Nanocoulter