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日本電子JSM-7800F掃描電鏡

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安柏來科學儀器(上海)有限公司

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通過超級混合式物鏡進行高分辨率觀察

JSM-7800F的物鏡采用靜電場和靜磁場疊加的超級混合式物鏡(SHL),由于減少了色差及球差,極大地提高了低加速電壓下的分辨率。此外,SHL不會對樣品形成磁場影響,因此觀察磁性材料的樣品和進行EBSD測試可以不受制約。

低加速電壓下的能量選擇

能量過濾器位于高位檢測器 (UED)的正下方,可以選擇能量。即使在低加速電壓下,也能夠精確地選擇二次電子和背散射電子,因而可以通過低加速電壓下的背散射電子像,觀察樣品的淺表面。

通過柔和光束觀察樣品的淺表面

給樣品加以偏壓(GB),對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達樣品時的能量很低,也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式,用數十電子伏能量的入射電子束,就可以進行更高分辨率的觀察。

? 通過多個檢測器獲取樣品的所有信息

JSM-7800F配有四種檢測器:高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)UED過濾器的電壓不同,二次電子和背散射電子的數量會改變,因此可以選擇電子的能量,USD檢測被過濾器彈回的低能量電子,BED通過檢測低角度的背散射電子,能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。

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日本電子JSM-7800F掃描電鏡

安柏來科學儀器(上海)有限公司

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