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儀器簡介：

應用：

◆ 薄膜厚度、n值及k值的測量，可應用于任何薄膜生長或者鍍膜工藝的監控。

技術參數：

Sopra公司是世界上*知名的橢偏儀設備供應商，其高精度的橢偏儀在半導體、化合物半導體（GaAs/SiC）、LCD及MEMS領域有著非常廣泛的應用。目前，全世界有超過500臺的Sopra橢偏儀應用于各個行業。

主要特點：

◆ 高精度的薄膜測量（膜厚、n值、k值）；

◆ 全世界**家寬光譜橢偏儀技術的***；

◆ VLSI及其他的測試標準均由Sopra標第；

◆ 強擴展性：Fast UV VIS CCD 模式，高分辨率DUV-VIS模式及FTIR/4PP功能。