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SE-i光譜橢偏儀

直接聯(lián)系

武漢頤光科技有限公司

湖北

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

806

產(chǎn)品介紹

一、概述

SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對(duì)有機(jī)/無機(jī)鍍

膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測(cè)中的定制化

開發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。

二、測(cè)試案例

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)成膜工藝

實(shí)時(shí)膜厚表征

三、產(chǎn)品應(yīng)用

■ 廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測(cè)并實(shí)時(shí)反饋測(cè)量物性數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品咨詢

SE-i光譜橢偏儀

武漢頤光科技有限公司

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