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快速熱處理退火爐簡稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），由我公司借鑒了國際先進制造工藝，在管式爐的基礎上自主研發而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質的飛躍，降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設計工藝使得冷卻氣體直接對著樣品直吹，以至于達到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫！

此款設備采用了成儀自主研發的智能AIO（All In One）控制系統，實現了爐膛自動左右移動，爐膛在左側加熱到設定溫度后，直接移動到右側樣品區域，實現樣品快速升溫，樣品加熱到設定溫度和時間后，爐膛自動移開樣品加熱區，實現樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統不但實現了真空系統開啟、保護氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協調控制，而且還能自動平衡爐管內的壓力大小，真正實現了操作方便，而且安全可靠。

功能舉例：樣品加熱到1000℃后，爐膛自動移開加熱區，冷卻氣體自動打開直吹樣品表面實現極速降溫，樣品溫度降到70℃時自動關閉冷卻氣體。然后爐膛移動到加熱區繼續加熱，如此往復，往復次數可用戶自定義。真空系統可根據用戶設定溫度自動開啟和關閉。

應用領域

? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

? 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長

? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

? 硅化 (Silicidation);

? 擴散 (Diffusion);

? 離子注入后退火 (Implant Annealing);

? 電極合金化 (Contact Alloying);

? 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

    
主要特點

? 極速升溫100℃/S，極速降溫100℃/S；

? 雙層爐管結構，氣氛與樣品接觸更均勻；

? 直接測量樣品表面溫度，測溫更精準；

? 爐膛根據設置可自動左右移動，可以滿足更多的實驗應用；

? 樣品實際溫度數據可通過手機APP導出excel表格；

技術參數：